| 发明名称 | 尤其用于远紫外光刻技术的微米液滴浓雾的产生 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于产生微米和亚微米液滴浓雾的方法和装置,用于在远紫外光的产生,尤其是用于光刻技术的光的产生。其特征为把加压的液体(4)注入到非常小直径并向真空室内张开的喷嘴(10)内。通过把激光辐射(36)聚束到浓雾(23)上产生光(42)。 | ||
| 申请公布号 | CN1379968A | 申请公布日期 | 2002.11.13 |
| 申请号 | CN00814442.7 | 申请日期 | 2000.10.17 |
| 申请人 | 法国原子能委员会 | 发明人 | M·施密德特;O·叙布勒蒙蒂尔 |
| 分类号 | H05G2/00 | 主分类号 | H05G2/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王勇;张志醒 |
| 主权项 | 1.液滴(4)组成的雾的产生方法，其特征在于，液体(4)在压强为5×105Pa到107Pa下加压，以及由此加压的液体注入到具有直径在20μm和1mm之间的喷咀(10)内，该喷咀张开到压强等于或小于10-2Pa的区域，因此在离开喷咀(10)出口的区域内产生具有10μm到30μm量级尺寸的液滴的浓雾(23)，该浓雾近似地处于喷咀的轴(X)上。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||