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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1152839(B1) 申请公布日期 2002.11.13
申请号 EP20000903586 申请日期 2000.01.19
申请人 STEAG HAMATECH AG 发明人 DRESS, PETER;APPICH, KARL;KRAUSS, PETER;SZEKERESCH, JAKOB;WEIHING, ROBERT
分类号 B05D1/40;B05C11/08;B05D3/10;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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