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发明名称 Electrostatic clamping
摘要
申请公布号 GB2375432(A) 申请公布日期 2002.11.13
申请号 GB20020016711 申请日期 2001.12.04
申请人 * TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人 DAVID ANDREW * TOSSELL
分类号 H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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