发明名称 Diffractive optical element and optical assembly using a diffractive optical element
摘要 <p>Ein diffraktives optisches Element (101) weist eine Mehrzahl von Beugungsstrukturen (104 bis 109) für eine bestimmte Wellenlänge auf. Diese haben jeweils eine in der Ebene des diffraktiven optischen Elements (101) gemessene Breite (r) und eine senkrecht dazu gemessene Höhe (h). Die Breiten (r) und die Höhen (h) der Beugungsstrukturen (104 bis 109) variieren über die Fläche des diffraktiven optischen Elements (101). Eine optische Anordnung mit einem solchen diffraktiven optischen Element weist zusätzlich ein Neutralfilter auf. Die Effizienz eines derartigen diffraktiven optischen Elements (101) und einer derartigen Anordnung für nutzbares Licht läßt sich lokal optimieren. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP1256821(A2) 申请公布日期 2002.11.13
申请号 EP20020004081 申请日期 2002.02.25
申请人 CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 发明人 KLEEMANN, BERND;ROSTALSKI, HANS-JUERGEN;ULRICH, WILLI
分类号 G02B27/44;G02B5/18;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B27/44
代理机构 代理人
主权项
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