用于空间滤波器动态同轴调整的在线调试仪

摘要

一种用于空间滤波器动态同轴调整的在线调试仪,主要适用激光系统发射的主激光束与空间滤波器的动态同轴在线的调整。由激光系统发射的主激光束依次经过补偿透镜、起偏振片、检偏振片、自准平面透镜和空间滤波器至全反射镜。由全反射镜反射沿原光路返回的激光束再次通过空间滤波器和自准平面透镜至检偏振片后转45°方向前进,再依次经衰减器、成像物镜、小孔光栏、显微物镜至输出连接到显示器上的探测器。通过调节空间滤波器内输出透镜的粗调,调节补偿透镜的精调以及自准平面透镜的调节,能够使主激光束严格地与空间滤波器同轴。通过成像物镜的远场成像,能够在主激光束与空间滤波器在工作状态的动态下,在线上进行同光轴地调整。

主权项

1.一种用于空间滤波器动态同轴调整的在线调试仪，包括：<1>含有共焦点(O′)的输入透镜(601)和输出透镜(603)，在输入与输出两透镜(601、603)之间的共焦点(O′)处置有滤波小孔(602)的空间滤波器(6)；其特征在于：<2>在空间滤波器(6)的输入透镜(601)入射端之前与空间滤波器(6)同中心光轴(OO2)，与上述输入透镜(601)和输出透镜(603)共焦点(O′)也共焦的置有补偿透镜(1)，在补偿透镜(1)与空间滤波器(6)之间的光路上置有起偏振片(2)，在起偏振片(2)与空间滤波器(6)之间的光路上置有检偏振片(4)，在检偏振片(4)与空间滤波器(6)之间的光路上置有自准平面透镜(5)；<3>由置放在空间滤波器(6)输出透镜(603)输出端外全反射镜(7)反射的沿原光路返回的光束再通过空间滤波器(6)和自准平面透镜(5)至检偏振片(4)，检偏振片(4)使光束偏转45°方向射出，再依次经过衰减器(8)、成像物镜(9)、小孔光栏(10)、显微物镜(11)至输出连接到显示屏(13)上的探测器(12)；<4>所说的衰减器(8)的输出端面是在成像物镜(9)的物面上，显微物镜(11)的入射面是在成像物镜(9)的像面上；<5>入射面对着检偏振片(4)的入射面置放的有吸收衰减器(3)。