| 发明名称 |
THE EFFECTS OF CLEANLINESS OF THE TITANIUM UNDER AND OVERLAYERS ON THE RELIABILITY AND FUNCTIONALITY OF ALUMINUM INTERCONNECTS |
| 摘要 |
<p>일렉트로마이그레이션(electromigration)의 향상을 위해 또한 다른 층의 지지를 위해 오염물을 감소시킨 티타늄을 포함하는 하부층과, 이 하부층 상에 침착되며 알루미늄을 포함하는 중간층과, 이 중간층 상에 침착되며 시이트 저항(sheet resistance)의 감소를 위해서 상기한 하부층에 비해 오염물을 증가시킨 티타늄을 포함하는 상부층을 포함함으로써, 신뢰성 및 기능성이 향상되게 하는 집적 회로용의 상호 접속체 및 그의 제조 방법.</p> |
| 申请公布号 |
KR100360740(B1) |
申请公布日期 |
2002.11.13 |
| 申请号 |
KR19990048307 |
申请日期 |
1999.11.03 |
| 申请人 |
인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션;지멘스 악티엔게젤샤프트 |
发明人 |
시시호머유;클레벵거로렌스에이;필리피로날드지;이걸든로이씨;레스타이노데릴디;로드벨케네스피;웨버스테판제이;베이갠드페터 |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/532;H01L27/02 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
