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发明名称 ETCHING SOLUTION AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1256126(A1) 申请公布日期 2002.11.13
申请号 EP20010905084 申请日期 2001.01.26
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 MATAMIS, GEORGE;DENTON, HEIDI, L.;DAVISON, MICHAEL, J.;SMITH, JEFFREY, A.
分类号 B81C1/00;C09K13/08;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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