BaxSr﹣xTiO–y溅镀靶材

摘要

一种溅镀靶材，其由通式BaxSr1_xTiO3_y(其中0≦x<1及0≦y<0.5)之钙钛矿类型复合氧化物烧结体构成，其中包括Na，K，Mg，Fe，Ni，Co，Cr， Cu与Al各元素的含量为1 ppm或以下及U与Th各元素的含量为1 ppb或以下。藉由使用该靶材沈积的BaxSr1_xTiO3之薄膜显示优良的介电性质，降低此技艺所苦恼的漏电流问题，且防止软体的错误。本发明亦提供一种具有相对密度为97%或以上及平均颗粒直径为3μm或以下之烧结体的溅镀靶材。其允许制造具有少许的粒子缺陷和增强机械强度之薄膜。

主权项

1.一种溅镀靶材,其由通式BaxSr1 _xTiO3 _y(其中0≦x<1及0≦y<0.5)之钙钛矿类型复合氧化物烧结体构成,其特征在包括Na,K,Mg,Fe,Ni,Co,Cr,Cu与Al的各元素的含量为1 ppm或以下及U与Th各元素的含量为1 ppb或以下。2.一种溅镀靶材,其由通式BaxSr1 _xTiO3 _y(其中0≦x<1及0≦y<0.5)之钙钛矿类型复合氧化物烧结体构成,其特征在烧结体的相对密度为97%或以上且烧结体的平均晶粒直径为3m或以下。3.一种溅镀靶材,其由通式BaxSr1 _xTiO3 _y(其中0≦x<1及0≦y<0.5)之钙钛矿类型复合氧化物烧结体构成,其特征在包括Na,K,Mg,Fe,Ni,Co,Cr,Cu与Al的各元素的含量为1 ppm或以下及U与Th各元素的含量为1 ppb或以下且烧结体的相对密度为97%或以上与烧结体的平均晶粒直径为3m或以下。