| 主权项 |
1.一种抗静电光罩之制造方法,包括下列步骤:在一基底上形成一遮蔽层;定义蚀刻该遮蔽层,以形成一光罩之图案层;对该光罩进行清洗以去除该图案层上残留之渣屑;以及通入氮气与一混合液以对该光罩进行乾燥处理,藉以去除该光罩上之水分并在该光罩表面形成一抗静电层,其中该混合液系抗静电材料溶于醇类溶剂所组成。2.如申请专利范围第1项所述之抗静电光罩之制造方法,其中该乾燥处理系利用马南根尼乾燥技术。3.如申请专利范围第1项所述之抗静电光罩之制造方法,其中该基底系一石英玻璃。4.如申请专利范围第1项所述之抗静电光罩之制造方法,其中该遮蔽层系铬金属。5.如申请专利范围第1项所述之抗静电光罩之制造方法,其中系藉由去离子水清洗该光罩。6.如申请专利范围第1项所述之抗静电光罩之制造方法,其中该醇类溶剂系异丙醇。7.如申请专利范围第1项所述之抗静电光罩之制造方法,其中该抗静电材料系四级胺化合物与阳离子聚合物之一种。8.如申请专利范围第1项所述之抗静电光罩之制造方法,其中该抗静电层之厚度在100到1000埃的范围。图式简单说明:第1a到1f图系绘示出根据本发明实施例之抗静电光罩制造流程剖面示意图。 |
