发明名称 于多层陶瓷封装中形成电隔离通孔之方法以及以此通孔形成之电连接
摘要 本发明提供一种用以在一多层陶瓷封装中形成电隔离通孔之方法以及在此通孔中形成之一电连接。该方法包括在一第一层凿出一第一通孔,以一可跨接糊状剂(paste)填满该第一通孔,固化该糊状剂以形成一电绝缘体前导,并且在该绝缘体前导中形成通孔。该电连接的形成包括由一多层陶瓷封装基板所支撑之跨接糊状剂制成的绝缘体,以及由该绝缘体所支撑之导电连接。
申请公布号 TW510028 申请公布日期 2002.11.11
申请号 TW090129667 申请日期 2001.11.30
申请人 摩托罗拉公司 发明人 杰洛米W 伯登;罗斯A 米森;丘德利 瑞米希 寇利培拉
分类号 H01L23/00 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种用以在适用于多层陶瓷封装之第一层中形成一电隔离通孔的方法,该方法包括:提供一第一层,该第一层适用于该多层陶瓷封装中的应用;在该第一层中形成一第一通孔;以可硬化糊状剂填满该第一通孔中;将该可硬化糊状剂硬化以形成一绝缘体前导;在该绝缘体前导中形成一第二通孔;以及以导电糊状剂填满该第二通孔,该导电糊状剂系与该第一层隔离。2.如申请专利范围第1项之方法,其中该糊状剂包括一可跨接黏结剂,而该硬化糊状剂的步骤包括跨接该黏结剂。3.如申请专利范围第2项之方法,其中该跨接系藉由将该糊状剂曝光于紫外线中完成。4.如申请专利范围第2项之方法,其中该跨接系藉由热能启动完成。5.如申请专利范围第1项之方法,进一步包括,以一导电糊状剂填满该第二通孔,以形成一电连接,并且将该第一层放置在一第二与第三陶瓷层之间,以将该多层陶瓷封装形成一感应器。6.如申请专利范围第5项之方法,其中该电连接会将一加热器电连接至该感应器内部的一输入/输出垫。7.一种适合配置在一多层陶瓷封装之一陶瓷层内部的电连接,该连接包括:由该陶瓷层所支撑的一绝缘体;该绝缘体系由一可硬化糊状剂形成;以及由该绝缘体所支撑的一导电连接,该绝缘体会隔离该连接与该陶瓷层。8.如申请专利范围第7项之电连接,其中该绝缘体包括一跨接黏结剂。9.如申请专利范围第8项之电连接,其中该黏结剂系藉由紫外线曝光而跨接。10.如申请专利范围第8项之电连接,其中该黏结剂系藉由热能启动而跨接。11.如申请专利范围第7项之电连接,其中该多层陶瓷封装系一感应器。12.如申请专利范围第11项之电连接,其中该电连接会将一加热器电连接至在该感应器内部的一输入/输出垫。图式简单说明:图1所示的系用以处理多层陶瓷封装中的一层的顺序,以使得该层包括根据本发明一项观点之通孔以及电连接;图2所示的系具有根据本发明一项观点所形成的多个电连接之层的断面图;图3所示的系多层的断面图,每一层具有根据本发明一项观点所形成的电连接;图4所示的系引用根据本发明之陶瓷层的感应器之透视图;图4(a)所示的系沿着图4感应器中的直线4A-4A之断面图;及图4(b)所示的系沿着图4感应器中的直线4B-4B之断面图。图4(c)所示的系图4感应器的俯视图。
地址 美国