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1.一种用于在一超洁净工作室(15)之内部与外部操 作一基材(11)的装置(10),其具有一气闸装置(17)以及 一第一操纵系统(51);气闸装置(17)设于该储藏室(20) 与超洁净工作室(15)之间,藉此,一在超洁净工作室 状况下收纳于一盒(13)内的基材卡匣(12),可从盒(13) 中移出及放入该盒(13);以及该第一操纵系统(51),藉 此,基材(11)能存放于卡匣(12)内及从匣中取出,因此 该操作基材之装置特征在于一供多个卡匣盒(13)所 用的储藏室(20),实质上系以成排及/或成列的排列 方式被收纳在该超洁净工作室(15)之上。2.如申请 专利范围第1项之装置,其特征在于气闸装置(17)具 有一或数个气闸组件(18),该等气闸组件(18)彼此间 为独立的。3.如申请专利范围第2项之装置,其特征 在于各个气闸组件(18)的气闸门系由该卡匣盒(13) 的元件(63.67)所构成。4.如申请专利范围第1至3项 中任一项的装置,其特征在于该气闸装置(17)被配 置在该储藏室(20)的底板(24)上,或位于该超洁净工 作室(15)之顶板。5.如申请专利范围第3项之装置, 其特征在于气闸门是由卡匣盒(13)的平台(63)所构 成。6.如申请专利范围第4项之装置,其特征在于气 闸门是由卡匣盒(13)的平台(63)所构成。7.如申请专 利范围第1至第3项中任一项的装置,其特征在于该 气闸装置(17)配置在该超洁净工作室(15)之侧壁。8. 如申请专利范围第3项之装置,其特征在于该气闸 门(67)是在该卡匣盒(13)的覆罩(64)上构成。9.如申 请专利范围第7项之装置,其特征在于该气闸门(67) 是在该卡匣盒(13)的覆罩(64)上构成。10.如申请专 利范围第2或3项的装置,其特征在于一供该基材卡 匣(12)或卡匣盒(13)所用之起重装置(47)被分配至各 个气闸组件(18)。11.如申请专利范围第1至3项中任 一项的装置,其特征在于该超洁净工作室(15)设有 数个工作隔室(42-44),供处理、制造、监视、分类 及/或类似的操作,在隔室间,在隔室彼此间且/或隔 室与基材卡匣(12)之位置间,配置有第一操纵系统( 51)。12.如申请专利范围第11项之装置,其特征在于 该第一操纵系统(51)于该超洁净工作室(15)的底板( 24)上配置有一线性导件(53)。13.如申请专利范围第 1至3项中任一项的装置,其特征在于该储藏室(20)于 一行及/或列的布置中配置有储藏位置(28,29),储藏 位置间,在彼此及/或气闸装置(17)的气闸组件(18)间 ,及/或储藏位置(28,29)和气闸组件(18)之间配置有第 二操纵系统(31),藉此系统卡匣盒(13)可从一各位置 移动至另一个位置。14.如申请专利范围第13项之 装置,其特征在于该第二操纵系统(31)在底板及/或 顶板配置有一线性导件(33,34)。15.如申请专利范围 第1至3项中任一项的装置,其特征在于该储藏室(20) 配置一个或数个进口/出口开孔(22,23)供卡匣盒之 用。16.如申请专利范围第15项之装置,其特征在于 该进口/出口开孔(22,23)是可关闭的。17.如申请专 利范围第15项之装置,其特征在该进口/出口开孔系 结合有一手动自动装填装置。18.如申请专利范围 第16项之装置,其特征在该进口/出口开孔系结合有 一手动自动装填装置。19.如申请专利范围第1至3 项中任一项的装置,其特征在于该操纵系统(31,51) 配置有一个叉或握爪组件。图式简单说明: 第1图,是根据本发明之一较佳示范的具体实施例, 一用于在一超洁净工作室之内部与外部操作一基 材的装置之概要横截面图; 第2图,在第1图中取至箭头II的方向,部分切割之侧 视图;及 第3图,相当于第1图,但为本发明之一个不同的示范 具体实施例。 |
