| 主权项 |
1.一种光碟之制造方法,包含下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及钌元素 含量低于25%重量比。2.一种光碟之制造方法,包含 下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及铜元素 含量低于25%重量比。3.一种光碟之制造方法,包含 下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及磷元素 含量低于25%重量比。4.一种光碟之制造方法,包含 下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及镁元素 含量低于25%重量比。5.一种光碟之制造方法,包含 下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及铬元素 含量低于25%重量比。6.一种光碟之制造方法,包含 下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及金元素 含量低于25%重量比。7.一种光碟之制造方法,包含 下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及矽元素 含量低于25%重量比。8.一种光碟之制造方法,包含 下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及钛元素 含量低于50%重量比。9.一种光碟之制造方法,包含 下述制程: 形成抗蚀剂薄膜(2)于基板(1)上, 藉电子束切割图样化基板(1)上之抗蚀剂薄膜(2), 形成电极(3)于图样化抗蚀剂薄膜(2)上, 藉电浇铸形成金属层(4)于电极(3)上,以及 使用由电极(3)撕离之金属层(4)作为冲压模,射出成 型树脂, 其中电极(3)含有镍元素作为主要成分以及银元素 含量低于50%重量比。10.如申请专利范围第1至9项 中任一项之光碟之制造方法,其中金属层(4)系由镍 制成。11.如申请专利范围第1至9项中任一项之光 碟之制造方法,其中金属层(4)系由镍合金制成。图 式简单说明: 图1A至1F为横剖面图,系显示使用供冲压模成形用 之薄膜来制造供光碟生产用之冲压模之方法;图1A 为横剖面图,系显示抗蚀剂施用状态;图1B为横剖面 图,系显示潜像形成状态;图1C为横剖面图,系显示 显像后之状态;图1D为横剖面图,系显示镍合金薄膜 形成状态;图1E为横剖面图,系显示镍层形成状态; 以及图1F为横剖面图,系显示冲压模。 图2为图表,系显示使用供冲压模成形用之薄膜来 制造供光碟生产用之冲压模之方法的细节。 图3为图表,系显示使用供光碟生产用之冲压模来 制造光碟之方法。 图4为表格,系显示纯镍薄膜及镍合金薄膜对氯化 钠水溶液之耐性试验以及高温高湿耐性加速试验 之结果。 图5为表格,系显示镍合金薄膜对氯化钠水溶液之 耐性试验以及高温高湿耐性加速试验之结果。 图6为略图,系显示藉光碟之镜像部份再生信号之 光碟杂讯测量方法。 图7为表格,系显示光碟杂讯之测量结果。 图8A至8F为横剖面图,系显示使用供冲压模成形用 之薄膜来制造供光碟生产用之冲压模之习知制法; 图8A为横剖面图,系显示抗蚀剂施用状态;图8B为横 剖面图,系显示潜像形成状态;图8C为横剖面图,系 显示显像后之状态;图8D为横剖面图,系显示镍合金 薄膜形成状态;图8E为横剖面图,系显示镍层形成状 态;以及图8F为横剖面图,系显示冲压模。 |
