| 主权项 |
1.一种排气管内附着固体生成物除去装置,系用以 除去附着于排气管内面的固体生成物的装置,其特 征为具备:具有位于排气管内的前端开口,自该前 端开口将洗净水供给至排气管内面的洗净水导入 管。2.如申请专利范围第1项的排气管内附着固体 生成物除去装置,其中,前述前端开口形成朝向前 述排气管内面开口。3.如申请专利范围第2项的排 气管内附着固体生成物除去装置,其中,前述洗净 水导入管设在前述排气管周围,具备有接受洗净水 的环状洗净水套管,而前述前端开口连通于该洗净 水套管,贯通前述排气管的管壁而延伸至该排气管 内面。4.如申请专利范围第1项的排气管内附着固 体生成物除去装置,其中,于前述前端开口设有定 位在前述排气管内的排气通路内,用以排出洗净水 的喷嘴。5.如申请专利范围第1项至第4项中任一项 的排气管内附着固体生成物除去装置,其中,该装 置具备有:在导入洗净水后,为使残留在排气管内 面洗净水蒸发而用以加热该排气管的加热装置。6 .如申请专利范围第5项的排气管内附着固体生成 物除去装置,其中,具备有对排气管内供给高温气 体的高温气体源以做为前述加热装置。7.如申请 专利范围第6项的排气管内附着固体生成物除去装 置,其中,前述高温气体系对排气为惰性之气体。8. 如申请专利范围第1项至第4项中任一项的排气管 内附着固体生成物除去装置,其中,前述之前端开 口系朝向前述排气管内的排气流向,隔着预定间隔 设置复数者。9.如申请专利范围第1项至第4项中任 一项的排气管内附着固体生成物除去装置,其中, 该装置具备有:设于排气管内,可以其长度方向在 该排气管内滑动,而将附着于该排气管内面的固体 生成物刮除的刮除构件。10.一种排气管内附着固 体生成物除去方法,用以除去附着于排气管内面的 固体生成物,其特征为具有下列两个步骤: 将一次洗净水供给至包含于排气中的成分与排气 管内部的湿气产生反应而生成并附着于该排气管 内面的一次固体生成物,以洗去固体生成物的步骤 ;及 将二次洗净水供给至与前述一次洗净水产生反应 而新生成并附着于排气管内面的二次固体生成物, 以洗去该二次固体生成物的步骤。11.如申请专利 范围第10项的排气管内附着固体生成物除去方法, 其中,于前述排气管中,沿着排气流向隔着预定间 隙设置第1及第2洗净水导入口,自前述第1洗净水导 入口供给前述一次洗净水,而自前述第2洗净水导 入口供给前述二次洗净水。12.如申请专利范围第 10项的排气管内附着固体生成物除去方法,其中,将 前述一次及二次洗净水,自设在前述排气管的单一 洗净水导入口,藉由施予各自不同的压力而供给, 调节该一次及二次洗净水在该排气管内部的扩散 范围,藉此,前述一次及二次洗净水各自供给至前 述一次及二次固体生成物。13.一种排气管内附着 固体生成物除去装置,用以将附着于排气管内面的 固体生成物除去,其特征为:具有将高温气体导入 排气管内,用以加热该排气管内面的高温气体导入 装置。14.如申请专利范围第13项的排气管内附着 固体生成物除去装置,其中,前述高温气体导入装 置具有用以将高温气体朝向排气管内部之必要位 置排出的排出开口。15.如申请专利范围第13项或 第14项的排气管内附着固体生成物除去装置,其中, 该装置具备有:设于排气管内,可以长度方向在该 排气管内滑动,用以将附着于该排气管内面的固体 生成物刮除的刮除构件。16.一种排气管内附着固 体生成物除去装置,用以将附着于排气管内面的固 体生成物除去,其特征为:设于排气管内,可以其长 度方向在该排气管内滑动,用以将附着于该排气管 内面的固体生成物刮除的刮除构件。17.一种用于 半导体制造的排气处理系统,其特征为具备有: 具有用以进行半导体处理的真空室的半导体制造 装置; 用以自真空室排出在该真空室内所使用的气体的 真空泵; 将藉由该真空泵排出之气体做无害化处理的湿式 排气处理装置; 用以连接前述半导体制造装置和真空泵的第1管; 用以连接真空泵和排气处理装置的第2管;及 设于该第2管,用以除去排气与来自湿式排气处理 装置的湿气相反应而产生之附着于该连接部分内 面的固物生成物的固体生成部除去装置, 该固体生成物除去装置具备有具有位在前述第2管 内的前端开口,可自该前端开口将洗净水供给至第 2管内面的洗净水导入管。18.如申请专利范围第17 项的排气处理系统,其中,前述洗净水导入管设于 前述第2管的周围,具备有接受洗净水的环状洗净 水套管,前述前端开口与该洗净水套管连通,贯通 前述第2管之管壁而延长至该管内面。19.如申请专 利范围第17项或第18项的排气处理系统,其中,于前 述前端开口,设有被定位在前述第2管的排气通路 内,用以排出洗净水的喷嘴。20.如申请专利范围第 17项或第18项的排气处理系统,其中,为使洗净水导 入后残留于前述第2管内面上的洗净水加热并蒸发 ,乃备有将高温惰性气体供给至前述连接部分内的 高温惰性气体源。21.如申请专利范围第17项或第18 项的排气处理系统,其中,于前述第2管方向隔着预 定间隔,设置复数洗净水导入管的前述前端开口。 22.如申请专利范围第17项或第18项的排气处理系统 ,其中,具备有:设于排气管内,可以其长度方向在该 排气管内滑动,而将附着于该排气管内面的固体生 成物刮除的刮除构件。图式简单说明: 第1图表示实施有关本发明之防止配管内附着固体 生成物之方法的排气处理装置构成例之图。 第2图是表示实施有关本发明之防止配管内附着固 体生成物之方法的排气处理装置之另一构成例之 图。 第3图表示有关本发明之防止配管内附着固体生成 物之装置之构成例之图。 第4图表示有关本发明之防止配管内附着固体生成 物之装置之构成例之图。 第5(a)图为于排气管外侧缠绕热线之先前装置概念 图。 第5(b)图为有关本发明将高温惰性气体流入排气管 内的装置概念图。 第6图为有关本发明之具备配管内固体生成物除去 装置的湿式排气处理装置的构成例之表示图。 第7图表示装设于第6图之湿式排气处理装置之有 关本发明之固体生成物除去装置之构成例之图。 第8图表示有关本发明之类似第7图装置之固体生 成物除去装置的构成例之图。 第9图表示有关本发明之固体生成物除去装置之另 一不同的构成例之图。 第10图表示有关本发明之固体生成物除去装置之 另一不同的构成例之图。 第11图表示具备有关本发明之配管内固体生成物 除去装置之湿式排气处理装置之另一构成例之图 。 第12(a)图表示有关本发明之配管内固体生成物除 去装置之1构成例之图。 第12(b)图类似于第12(a)图,为表示装设1个洗净水导 入管时的固体生成物除去装置之图示。 第12(c)图表示不设固体生成物除去装置时的固体 生成物发生状态之图。 第13图表示有关本发明之固体生成物除去装置中 的洗净水导入管的前端开口配置例之图。 第14图表示依第12(a)图所示之利用固体生成物除去 装置进行洗净作业之1例之图示。 第15图表示具备有关本发明之配管内固体生成物 除去装置的湿式排气处理装置之另一构成例之图 。 第16图表示第15图之固体生成物除去装置之构成例 之图。 第17图表示半导体制造装置的排气处理系统图。 |
