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发明名称
摘要
申请公布号	JP3343197(B2)	申请公布日期	2002.11.11
申请号	JP19970029264	申请日期	1997.02.13
申请人		发明人
分类号	G01D5/36;B08B1/00;G01B11/00;(IPC1-7):G01D5/36	主分类号	G01D5/36
代理机构		代理人
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