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发明名称
摘要
申请公布号	JP3343629(B2)	申请公布日期	2002.11.11
申请号	JP19930299929	申请日期	1993.11.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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