发明名称 |
An improved method for forming minimally spaced mram structures |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002309607(A1) |
申请公布日期 |
2002.11.11 |
申请号 |
AU20020309607 |
申请日期 |
2002.04.26 |
申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
DENNIS KELLER;GURTEJ SANDHU;ROGER LEE;REN EARL;D. MARK DURCAN;TRUNG T. DOAN |
分类号 |
H01L27/105;H01B13/00;H01G7/06;H01L21/00;H01L21/8246;H01L27/22;H01L43/08;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L27/105 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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