发明名称 METHODS OF FORMATION OF A SILICON NANOSTRUCTURE, A SILICON QUANTUM WIRE ARRAY AND DEVICES BASED THEREON
摘要
申请公布号 IL149832(D0) 申请公布日期 2002.11.10
申请号 IL20000149832 申请日期 2000.10.02
申请人 SCEPTRE ELECTRONICS LIMITED 发明人
分类号 H01L21/66;B82B1/00;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/335;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/12;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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