发明名称 |
METHODS OF FORMATION OF A SILICON NANOSTRUCTURE, A SILICON QUANTUM WIRE ARRAY AND DEVICES BASED THEREON |
摘要 |
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申请公布号 |
IL149832(D0) |
申请公布日期 |
2002.11.10 |
申请号 |
IL20000149832 |
申请日期 |
2000.10.02 |
申请人 |
SCEPTRE ELECTRONICS LIMITED |
发明人 |
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分类号 |
H01L21/66;B82B1/00;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/335;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/12;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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