전기 흡착 장치

摘要

본 고안은 전기 흡착 장치를 개시한다. 개시된 본 고안의 전기 흡착 장치는 플라즈마를 이용한 건식 식각 공정시에 웨이퍼를 고정시키는 전기 흡착 장치로서, 웨이퍼의 크기보다 크게 설계되며, 상부 표면에는 웨이퍼가 안착되는 홈이 구비되고, 플라즈마 방사로부터 노출되는 표면은 이중 표면 처리되며, 상기 웨이퍼가 안착되는 홈의 외측에는 소정 재질의 보호 링이 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.