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发明名称 LITHOGRAPHISCHES SYSTEM
摘要
申请公布号 DE69804447(T2) 申请公布日期 2002.11.07
申请号 DE19986004447T 申请日期 1998.05.25
申请人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V., DELFT 发明人 KRUIT, PIETER
分类号 G03F7/20;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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