| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Haltevorrichtung für Wafer in einer Anordnung zur Waferinspektion, umfassend zwei Greifer (11, 12), von denen jeder im geschlossenen Zustand der Haltevorrichtung (8) einen Teilabschnitt des Waferumfangs umschließt und die mit einer Antriebseinrichtung (27) verbunden sind, bei deren Ansteuerung sich die Greifer (11, 12) zwecks Öffnen der Haltevorrichtung (8) voneinander weg und zwecks Schließen der Haltevorrichtung (8) aufeinander zu bewegen, und einen Haltearm (13), an dem beide Greifer (11, 12) schwenkbar gelagert sind. Dabei ist der Haltearm (13) um eine Achse (A) drehbar gelagert, die im wesentlichen in der vom Wafer (W) aufgespannten Ebene liegt, so daß mit einer Drehung um 180° um die Achse (A) ein zwischen den Greifern (11, 12) gehaltener Wafer (W) gewendet ist.</p> |
