| 发明名称 |
Verfahren zum Abtragen eines durchsichtigen Feststoffs mit Laserstrahlen |
| 摘要 |
<p>A method of etching a surface of a transparent solid material with a laser beam, wherein the surface is irradiated with the laser beam having a fluence of 0.01-100 J/cm2/pulse while maintaining a fluid capable of absorbing the laser beam in contact with an opposite surface of the solid material.</p> |
| 申请公布号 |
DE19912879(C2) |
申请公布日期 |
2002.11.07 |
| 申请号 |
DE1999112879 |
申请日期 |
1999.03.23 |
| 申请人 |
DIRECTOR-GENERAL OF AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, TOKIO/TOKYO |
发明人 |
WANG, JUN;NIINO, HIROYUKI;YABE, AKIRA |
| 分类号 |
B23K26/00;B23K26/06;B23K26/12;B23K26/18;B23K26/40;B28D1/22;C03B33/08;C03C15/00;C03C23/00;(IPC1-7):B23K26/18 |
主分类号 |
B23K26/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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