| 发明名称 |
Herstellungsverfahren eines Halbleiterspeichers mit Kondensator |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60000526(D1) |
申请公布日期 |
2002.11.07 |
| 申请号 |
DE20006000526 |
申请日期 |
2000.05.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
KANEOKA, TATSUNORI |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L21/469;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L21/8244;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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