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发明名称 Verfahren zum AEtzen von Halbleiterkoerpern
摘要
申请公布号 DE1297951(B) 申请公布日期 1969.06.19
申请号 DE196500S5736 申请日期 1965.03.02
申请人 SIEMENS AG 发明人 WENZIG;WOLFGANG DIPL.-PHYS.
分类号 C23F1/02;H01L21/308 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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