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发明名称 Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop
摘要
申请公布号 DE19925431(C2) 申请公布日期 2002.11.07
申请号 DE1999125431 申请日期 1999.06.02
申请人 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE, CHUTUNG 发明人 CHANG, YUN-HUI;CHEN, SHIH-CHOU;LO, SHIH-CHE;LU, YUAN-YING;TSAI, DIN-PING;YANG, CHI-WEN
分类号 G01Q60/18;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G01Q60/18
代理机构 代理人
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