一种制备P型氧化锌薄膜的方法

摘要

本发明的制备P型氧化锌薄膜的方法是在具有超声波雾化器,石英生长炉和温度控制器的化学气相沉积装置的石英生长炉内设置衬底,通过调节温度控制器使衬底温度为400～600℃,将醋酸锌溶液放入超声波雾化器并加入适量的氨水由雾化器雾化,雾化后的气体进入石英生长炉,并在衬底表面发生化学反应生成P型氧化锌薄膜。通过控制衬底的温度、雾化量及醋酸锌溶液和氨水的浓度及比例,可以控制氧化锌薄膜的空穴浓度。该方法简单易行、成本低。

主权项

1.一种制备P型氧化锌薄膜的方法，其特征是在具有超声波雾化器[1]，石英生长炉[2]和温度控制器[3]的化学气相沉积装置的石英生长炉内设置衬底[4]，通过调节温度控制器[3]使衬底温度为400～600℃，将醋酸锌溶液放入超声波雾化器[1]并加入适量的氨水由雾化器雾化，雾化后的气体进入石英生长炉，并在衬底表面发生化学反应生成P型氧化锌薄膜。