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发明名称
Wafer transport module
摘要
申请公布号
GB2375232(A)
申请公布日期
2002.11.06
申请号
GB20020018144
申请日期
1998.07.10
申请人
* FLUOROWARE, INC
发明人
DAVID L * NYSETH;DENNIS J * KRAMPOTICH;TODD M * ULSCHMID;GREGORY W * BORES
分类号
H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
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