超硬纳米复合薄膜及其制作工艺

摘要

超硬纳米复合薄膜及其制作工艺,属于材料的陶瓷薄膜领域。其成分配方原子百分比为:Nb:25－40%,Si:1－15%,N:50－65%。其制备工艺为:在金属或陶瓷或其他材料的基体上利用三气源反应溅射沉积法制取Nb－Si－N纳米复合薄膜,首先将金属或陶瓷或其他材料的基体表面作镜面抛光处理,利用反应溅射沉积技术制取复合薄膜,薄膜厚度为1μm－3μm,薄膜中存在NbN纳米晶相和Si₃N₄非晶相。本发明具有实质性特点和显著进步,可广泛用于金属工模具的表面硬化处理,硬度可达39Gpa以上,最高硬度可达53Gpa,本发明的溅射效率较高,可大大提高工业化大规模生产的实用性和效率。

主权项

1、一种超硬纳米复合薄膜，其特征在于其成分配方原子百分比为：Nb：25-40％，Si：1-15％，N：50-65％。