图案评价方法,图案评价装置和计算机读取的记录媒体

摘要

本发明提供高速、高精度并具有高附加价值的图案评价方法,图案评价装置和记录媒体。如果根据本发明,则取得作为评价对象的图案的图象数据,处理这个图象数据,检测图案的边界点的座标,将左右的边界点组合成边界点对,算出各边界点对中的边界点之间的距离,和连接各边界点之间的直线与X轴所成的角度,制作表示这些距离和角度的分布的距离角度分布图,与评价目的相对应地提取这个距离角度分布图的特征点。

主权项

1.图案评价方法，它备有接受供给的作为评价对象的图案的图象数据，处理上述图象数据，检测在上述图象中的上述图案的边界点座标的边界点检测过程，在上述边界点中组合边界点对的结对过程，算出构成上述边界点对的上述边界点之间的距离，和连接上述边界点之间的直线与任意轴线之间的角度的计算过程，制作上述边界点对的上述距离和上述角度的分布图的距离角度分布图制作过程，提取上述分布图的特征点的特征点提取过程，和根据提取的上述特征点解析上述图案的解析过程。