液体输入输出控制装置及方法

摘要

一种液体输入输出控制装置及方法,该装置由基座、两管衔结构、一透明长管以及一透明短管所构成;基座上具有复数个孔洞,经由两管衔结构,再分别连接到一透明长管以及一透明短管;该液体输入输出控制装置与预置槽结合,使得透明长管与透明短管位于预置槽内部,分别用以将一液体输出和一添加液输入;由于本发明以透明材质的管路,所以可以随时监控内部管壁上液体残留的状况,以便随时清洗保持畅通。

主权项

1.一种液体输入输出控制装置，与一预置槽结合，此用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括：一基座，其上具有至少一孔洞；一管衔结构，具有一第一端口与一第二端口，该管衔结构的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合；以及一透明长管，供一液体通过，该透明长管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该管衔结构的第二端口，而第二管口设置于该预置槽内部，而得以将一原液输出。