AC excitation of polysilicon based pressure sensors,申请号EP19950943086-传众专利搜索

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发明名称	AC excitation of polysilicon based pressure sensors
摘要
申请公布号	EP0799412(B1)	申请公布日期	2002.11.06
申请号	EP19950943086	申请日期	1995.12.15
申请人	THE FOXBORO COMPANY	发明人	MCHALE, EDWARD, J.;FUNG, CLIFFORD, D.
分类号	G01L9/00;G01L9/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06	主分类号	G01L9/00
代理机构		代理人
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