| 发明名称 |
Thick wafer for MEMS fabrication |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2375185(A) |
申请公布日期 |
2002.11.06 |
| 申请号 |
GB20010010932 |
申请日期 |
2001.05.04 |
| 申请人 |
* KYMATA LIMITED;* ALCATEL OPTRONICS UK LIMITED |
发明人 |
PAUL * BLAIR;JEAN * PODLECKI |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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