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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR DEPOSITION OF COATINGS ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1254277(A2) 申请公布日期 2002.11.06
申请号 EP20010924023 申请日期 2001.01.25
申请人 V.I.P. VACUUM PLASMA TECHNOLOGIES LTD 发明人 DODONOV, ALEXANDR IGOREVICHUL.;DIAMANT, VALERY;BASHKOV, VALERY MIKHAILOVICH
分类号 C23C14/02;C23C14/32;H01J37/317;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/22;H01J37/32 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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