发明名称 DEVICE FOR PRODUCING PLASMA
摘要 <p>진공실(3)에서 교번 전자계의 도움으로 플라즈마를 발생시키는 장치에서는 로드형 도체(4)를 내부에 포함하는 절연재료로 된 절연관(5)이 진공실(3) 안으로 들어가며, 절연관(5)의 내경이 도체(4)의 직경보다 크며, 절연관(5)의 적어도 한쪽 단부가 진공실(3)의 벽(6, 7)에 고정되고 벽(6, 7)의 맞은 편 쪽으로 절연관(5)의 외부면이 밀폐되며, 도체(4)의 적어도 한쪽 단부가 교번 전자계를 생성하는 제1 소스(8, 9)에 연결되며, 진공실(3)내로 뻗어 있는 로드형 도체(4) 부위가 나선(2) 형상이고, 그 부위의 나선 1권의 길이(L)가 C/cos(α)이고, 10°< α< 15°조건에서 파장(λ)에 거의 일치한다.</p>
申请公布号 KR100359380(B1) 申请公布日期 2002.11.04
申请号 KR19990018617 申请日期 1999.05.24
申请人 레이볼트 시스템즈 게엠베하 发明人 리르미카엘
分类号 H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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