镍或镍合金之蚀刻液、以及蚀刻法

摘要

〔课题〕 提供镍或镍合金之蚀刻速度快、且其他以外之金属、特别为铜和铜合金之侵蚀极少、并且几乎不会发生副蚀刻之镍或镍合金之蚀刻液。〔解决手段〕 由镍或镍合金与其他金属混合存在之材料所构成之选择性地蚀刻镍或镍合金之蚀刻液，其为由含有(A)硝酸5～55重量%、(B)硫酸0.5～40重量%、(C)过氧化物、硝酸盐及芳香族硝基化合物所选出之主氧化剂0.1～20重量%及(D)氯离子0.0001～0.5重量%之水溶液所组成的镍或镍合金之蚀刻液。

主权项

1.一种镍或镍合金之蚀刻液,其为由镍或镍合金与 其他金属混合存在之材料所构成之选择性地蚀刻 镍或镍合金之蚀刻液,其为由含有(A)硝酸5-55重量% 、(B)硫酸0.5-40重量%、(C)过氧化物、硝酸盐及芳香 族硝基化合物所选出之主氧化剂0.1-20重量%及(D)氯 离子0.0001-0.5重量%之水溶液所构成。2.如申请专利 范围第1项记载之蚀刻液,其为含有啶化合物0.01- 6重量%。3.一种蚀刻法,其特征为令镍或镍合金、 与其他金属混合存在之材料,以含有(A)硝酸5-55重 量%、(B)硫酸0.5-40重量%、(C)过氧化物、硝酸盐及 芳香族硝基化合物所选出之主氧化剂0.1-20重量%及 (D)氯离子0.0001-0.5重量%之水溶液所构成。4.如申请 专利范围第3项记载之蚀刻法,其中前述水溶液为 含有啶化合物0.01-6重量%。