发明名称 波长变换方法、波长变换装置,以及雷射加工机
摘要 本发明提供可长期间稳定产生由非线形光学结晶变换波长之光之波长变换方法及波长变换装置,以及使用该方法及装置之雷射加工机。本发明之波长变换方法系将接触于以非线形光学结晶变换波长之光射出之面之环境气体,做成为氮元素之含有率较空气为低之气体以变换波长者。再者,本发明之波长变换装置,系具备将接触于以非线形光学结晶变换波长之光射出之面之环境气体做成氮元素之含有率较空气为低环境气体之装置。本发明之雷射加工机,系具备上述之波长变换装置者。
申请公布号 TW508280 申请公布日期 2002.11.01
申请号 TW090130866 申请日期 2001.12.13
申请人 三菱电机股份有限公司 发明人 小岛哲夫;今野进;藤川周一;安井公治;佐佐木孝友;森勇介;吉村政志
分类号 B23K26/00;G02F1/01 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市博爱路八十号六楼;陈昭诚 台北市博爱路八十号六楼
主权项 1.一种波长变换方法,系于使光通过非线形光学结 晶以进行波长变换之波长变换方法中,将,接触于 上述非线形光学结晶已予波长变换之光出射之面 之环境气体,做成氮元素之含有率较空气为小之气 体,以进行波长变换者。2.如申请专利范围第1项之 波长变换方法,其中,将,非线形光学结晶将予波长 变换之光入射之入射端面及已予波长变换之光出 射之出射端面,以氮元素之含有率较空气为小之气 体覆盖,以进行波长变换者。3.如申请专利范围第1 项之波长变换方法,其中,将,接触于非线形光学结 晶将予波长变换之光入射之入射端面之环境气体, 与接触于已予波长变换之光出射之出射端面之环 境气体,做成不同成分之气体,以进行波长变换者 。4.如申请专利范围第1项之波长变换方法,其中, 使氮元素之含有率较空气为小之气体流通者。5. 如申请专利范围第4项之波长变换方法,其中,将氮 元素之含有率较空气为小之气体供给到非线形光 学结晶之至少出射端面之近傍之后,予以排出者。 6.如申请专利范围第1项之波长变换方法,其中,氮 元素之含有率较空气为小之气体为,含氮元素气体 之体积含有率为10%以下之气体者。7.如申请专利 范围第1项之波长变换方法,其中,该非线形光学结 晶为含钯之结晶者。8.如申请专利范围第1项之波 长变换方法,其中,该气体为,以稀有气体、氧气、 或二氧化碳气之中之任一种为主体之气体者。9. 如申请专利范围第3项之波长变换方法,其中,接触 于非线形光学结晶之已予波长变换之光出射之面 之环境气体之氮元素之含有率较空气为小之气体 为,以氩气为主体之气体者。10.一种波长变换装置 ,系使光通过非线形光学结晶以进行波长变换之波 长变换装置,具备,将接触于上述非线形光学结晶 已予波长变换之光出射之面之环境气体,做成氮元 素之含有率较空气为小之气体之装置者。11.如申 请专利范围第10项之波长变换装置,其中,该装置系 射出出射平均功率5W以上之经波长变换之光者。12 .如申请专利范围第10项之波长变换装置,其中,具 备:将非线形光学结晶之将予波长变换之光入射之 入射端面及已予波长变换之光出射之出射端面以 氮元素之含有率较空气为小之气体予以覆盖之装 置者。13.如申请专利范围第10项之波长变换装置, 其中,具备:将接触于非线形光学结晶之将予波长 变换之光入射之入射端面之环境气体与,接触于已 予波长变换之光出射之出射端面之环境气体,做成 成分不同之气体之装置者。14.如申请专利范围第 10项之波长变换装置,其中,具备:使氮元素之含有 率较空气为小之气体流通之装置者。15.如申请专 利范围第14项之波长变换装置,其中,具备:在其一 部分设有使入射光及出射光通过之窗或开口之容 器内配置非线形光学结晶,将氮元素之含有率较空 气为小之气体在上述容器内供给到非线形光学结 晶之至少出射端面之近傍之装置,以及,将上述经 供给之气体由上述容器予以排出之装置者。16.如 申请专利范围第10项之波长变换装置,其中,氮元素 之含有率较空气为小之气体为,含氮元素气体之体 积含有率为10%以下之气体者。17.如申请专利范围 第10项之波长变换装置,其中,非线形光学结晶为含 铯之结晶者。18.如申请专利范围第10项之波长变 换装置,其中,氮元素之含有率较空气为小之气体 为以稀有气体、氧气、或二氧化碳气之中之任一 种为主体之气体者。19.如申请专利范围第13项之 波长变换装置,其中,接触于非线形光学结晶之光 出射之面之环境气体之氮元素之含有率较空气为 小之气体为,以氩气为主体之气体者。20.一种雷射 加工机,包括:加工机;具备,做为加工光源之成为波 长变换之光源之雷射装置,与,将接触于非线形光 学结晶之已予波长变换之光出射之面之环境气体 做成氮元素之含有率较空气为小之气体之装置,以 及将上述雷射装置所发射之雷射光通过上述非线 形光学结晶予以波长变换之波长变换装置之波长 变换雷射装置者。图式简单说明: 第1图为本发明之实施例1之波长变换装置之纵剖 视图。 第2图为本发明之实施例1之波长变换装置之横剖 视图。 第3图为本发明之实施例2之波长变换装置之纵剖 视图。 第4图为本发明之实施例2之波长变换装置之横剖 视图。 第5图为本发明之实施例3之波长变换装置之纵剖 视图。 第6图为本发明之实施例4之波长变换装置之纵剖 视图。 第7图为本发明之实施例5之波长变换装置之纵剖 视图。 第8图为本发明之实施例6之波长变换装置之纵剖 视图。 第9图为本发明之实施例7之波长变换装置之纵剖 视图。 第10图为本发明之实施例8之波长变换雷射装置之 纵剖视图。 第11图为本发明之实施例9之雷射加工机之纵剖视 图。 第12图为习知之波长变换装置之纵剖视图。
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