ION PLATING APPARATUS

摘要

진공용기(11) 내에 배치된 노(30a)(30b)의 주위에 각각 고리모양의 영구자석을 내장한 보조노(31a)(31b)를 설치한다. 인접하는 2개의 플라즈마건(1A)(1B)에 설치되는 고리모양의 영구자석(21a)(21b)의 자극의 방향, 전자석코일(22a)(22b)의 자극의 방향, 스티어링코일(24a)(24b)의 자극의 방향 및 2개의 노에 내장된 2개의 고리모양 영구자석의 자극 방향을 각각 서로 반대로 하였다.