| 发明名称 |
Verbesserungen in oder in Bezug auf Halbleiterchiptrennung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69621107(T2) |
申请公布日期 |
2002.10.31 |
| 申请号 |
DE19966021107T |
申请日期 |
1996.11.20 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS |
发明人 |
ORCUTT, JOHN W. |
| 分类号 |
H01L21/301;H01L21/304;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/301 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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