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发明名称 Oberflächen-Schleifvorrichtung und Verfahren zum oberflächlichen Schleifen eines dünn-flächigen Werkstückes
摘要
申请公布号 DE69715798(D1) 申请公布日期 2002.10.31
申请号 DE1997615798 申请日期 1997.12.22
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 KATO, TADAHIRO;OKUNI, SADAYUKI;KUDO, HIDEO;TOMIOKA, HIROSHI
分类号 B24B7/04;B24B7/22;(IPC1-7):B24B7/22;B24B37/04 主分类号 B24B7/04
代理机构 代理人
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