发明名称 METHOD FOR TREATING THE SURFACE OF A SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要 <p>Procédé de traitement de la surface d'un matériau semiconducteur, utilisant notamment l'hydrogène, et surface obtenue par ce procédé. Selon l'invention, on utilise par exemple l'hydrogène, on prépare la surface (S) pour qu'elle présente, à l'échelle atomique, une organisation contrôlée, et l'on hydrogèn e la surface ainsi préparée, la préparation et l'hydrogénation de la surface coopérant pour obtenir un état électrique prédéfini de la surface. L'inventi on trouve des applications, notamment en microélectronique, à la métallisation ou la passivation d'une surface semiconductrice.</p>
申请公布号 CA2444793(A1) 申请公布日期 2002.10.31
申请号 CA20022444793 申请日期 2002.04.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 SOUKIASSIAN, PATRICK;DERYCKE, VINCENT
分类号 H01L21/322;C30B33/00;H01L21/04;H01L21/285;(IPC1-7):C30B29/36;H01L21/02 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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