| 发明名称 |
Polymer and photoresist compositions |
| 摘要 |
Disclosed are spirocyclic olefin polymers, methods of preparing spirocyclic olefin polymers, photoresist compositions including spirocyclic olefin resin binders and methods of forming relief images using such photoresist compositions.
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| 申请公布号 |
US2002160302(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.31 |
| 申请号 |
US20020126191 |
申请日期 |
2002.04.20 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY, L.L.C. |
发明人 |
SZMANDA CHARLES R.;BARCLAY GEORGE G.;TREFONAS PETER;YUEH WANG |
| 分类号 |
C08F10/00;C08F4/00;C08F4/80;C08F32/08;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
C08F10/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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