VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR THERMISCHEN BEHANDLUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN,申请号DE19966023967-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR THERMISCHEN BEHANDLUNG VON HALBLEITERSUBSTRATEN
摘要
申请公布号	DE69623967(D1)	申请公布日期	2002.10.31
申请号	DE19966023967	申请日期	1996.07.09
申请人	MATTSON TECHNOLOGY INC., FREMONT	发明人	JOHNSGARD, E.;MATSON, S.;MCDIARMID, JAMES;ZEITLIN, J.
分类号	C23C16/46;C30B25/10;C30B31/12;H01L21/22;(IPC1-7):C30B31/12	主分类号	C23C16/46
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