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Beschrieben und dargestellt ist eine Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Niedertemperatur-Plasmas (24), umfassend eine hohle Anode (11), die eine im Wesentlichen geschlossene Vakuumkammer (12) definiert, innerhalb welcher wenigstens eine Kathodenanordnung (27) vorgesehen ist, welche einen Prozessraum (28) zumindest teilweise begrenzt. Die Besonderheit besteht darin, dass die Kathodenanordnung (27) eine Vielzahl von zu dem Prozessraum (28) hin offenen, taschenartigen Kammern, 36, 40a, 40b, 40c) umfasst, die eine Vielzahl von Einzel-Hohlkathoden bilden.
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