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<p>Um auf einfache und kostengünstige Weise die Herstellung eines wasserstoffreichen Prozessgases aus Wasserdampf und Wasserstoff zu ermöglichen bei dem das Mischungsverhältnis von Wasserdampf zu Wasserstoff genau steuer- und reproduzierbar ist, sieht die Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Prozessgases zur Behandlung von Substraten, insbesondere Halbleitersubstraten, vor bei dem, bzw. Bei der Sauerstoff zur Bildung eines Prozessgases aus Wasserdampf und Wasserstoff in einer wasserstoffreichen Umgebung in einer Brennkammer verbrannt wird.</p> |
