| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines amorphen Kohlenstofffilmes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69618734(T2) |
申请公布日期 |
2002.10.31 |
| 申请号 |
DE1996618734T |
申请日期 |
1996.09.06 |
| 申请人 |
NEC CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
ENDO, KAZUHIKO;TATSUMI, TORU |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/44;C23C16/50;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/312;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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