发明名称 Vorrichtung zum Absaugen eines Messgases aus einem unter Vakuum stehenden Processgasraum
摘要
申请公布号 DE59805669(D1) 申请公布日期 2002.10.31
申请号 DE19985005669 申请日期 1998.10.12
申请人 KUSKE GMBH;MANNESMANN AG 发明人 KUSKE, GUENTER;REIDICK HERMANN DIPL.-ING., D-46047 OBERHAUSEN;CLASEN KLAUS-D. DIPL.-ING., D-47269 DUISBURG
分类号 G01N1/24;(IPC1-7):G01N1/24 主分类号 G01N1/24
代理机构 代理人
主权项
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