| 发明名称 | 高纯度盐酸的生产 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种新型的方法,其能够根据工业标准实施,生产半导体生产中所使用的低颗粒含量的高纯度盐酸。 | ||
| 申请公布号 | CN1377323A | 申请公布日期 | 2002.10.30 |
| 申请号 | CN00813864.8 | 申请日期 | 2000.10.04 |
| 申请人 | 默克专利股份有限公司 | 发明人 | W·布特尼尔;M·赫斯塔勒克;甘晋荣;吕志鹏 |
| 分类号 | C01B7/07 | 主分类号 | C01B7/07 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王杰 |
| 主权项 | 1.一种用于半导体工业的高纯盐酸的生产方法，其特征在于a)通过加热从氯化氢含量大于21％的盐酸中排出[气泡]，b)使氯化氢气体通过由氟化或全氟聚烯烃制成的滞留塔和除沫器，和c)随后在吸收塔中溶于高纯水中，以形成盐酸。 | ||
| 地址 | 德国达姆施塔特 | ||