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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR DEPOSITING A PRECURSOR ON A SUBSTRATE, SAID PRECURSOR BEING PRESENT IN THE LIQUID FORM
摘要
申请公布号 EP1252362(A2) 申请公布日期 2002.10.30
申请号 EP20010946907 申请日期 2001.01.29
申请人 AIXTRON AG 发明人 LINDNER, JOHANNES;SCHUMACHER, MARCUS;STRZYZEWSKI, PIOTR;SCHIENLE, FRANK;STRAUCH, GERD;JUERGENSEN, HOLGER
分类号 C23C18/02;C23C16/448;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/448;H01L21/00 主分类号 C23C18/02
代理机构 代理人
主权项
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