发明名称 渗碳方法和渗碳设备
摘要 提供一种经济的渗碳方法和渗碳设备,即使渗碳条件与正常情况不同,也能象正常情况一样高质量并且高重复性地进行渗碳处理。一种用于在13-4,000Pa的压力下在含有不大于30体积%的气氛气体中进行渗碳的渗碳设备,包含一个容纳被处理物体(4)的渗碳室(3);一个用于测量渗碳过程中在渗碳室(3)中的气氛气体的氧浓度的氧传感器(20);和一个用于根据氧传感器(20)的测量结果调节渗碳室(3)中的气氛气体组成的质量流量控制器(5)。
申请公布号 CN1376810A 申请公布日期 2002.10.30
申请号 CN02102026.4 申请日期 2002.01.17
申请人 东方工程公司 发明人 河田一喜;佐藤初男;浅井茂太;关谷庆之
分类号 C23C8/22 主分类号 C23C8/22
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 龙传红
主权项 1.一种在13-4,000Pa压力下在含有不大于30体积%一氧化碳的气氛气体中进行渗碳的渗碳方法,其中,在分析气氛气体组成并根据分析结果调节温度、压力和气氛气体组成中的至少一项的同时进行渗碳。
地址 日本东京