未反应气体检测装置及未反应气体检测传感器

摘要

一种未反应气体检测装置,可准确地检测出残留在目标气体中的可燃性未反应气体浓度,安全地供应原料气体。本发明的未反应气体检测装置40包括:炉主体;与炉主体相连接的传感器主体44;形成于该传感器主体44内,使上述目标气体流通的测定用空间46;具有促进反应用的催化剂层74的温度测定部72c的;设有温度测定部70c的目标气体温度检测传感器70。利用上述促进反应用催化剂层74使残留于目标气体中的未反应气体反应,检测温度测定部72c的温度上升情况,同时用上述温度测定部70c测定目标气体温度To,根据未反应气体检测传感器温度T与目标气体温度之温度差ΔT(=T－To)检测未反应气体浓度。

主权项

1.一种未反应气体检测装置，包括：炉主体，使可燃性和自燃性原料气体在反应室内反应生成目标气体；与该炉主体相连接的传感器主体；测定用空间，它形成于该传感器主体内，使上述目标气体流通；未反应气体检测传感器，该传感器在上述测定用空间内配置有具有促进反应用的催化剂层的温度测定部；目标气体温度检测传感器，该传感器通过配设在上述炉主体或传感器主体内的重要部位的温度测定部检测气体温度，这种未反应气体检测装置的特征在于：利用上述促进反应用催化剂层使残留于目标气体中的未反应气体进行反应，检测温度测定部的温度上升情况，同时通过炉主体或传感器主体内的温度测定部测定目标气体温度，根据未反应气体检测传感器温度与目标气体温度之温度差检测出未反应气体浓度。