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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR EPITAXIALLY PROCESSING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1252364(A1) 申请公布日期 2002.10.30
申请号 EP20010946908 申请日期 2001.01.22
申请人 MATTSON TECHNOLOGY INC. 发明人 MAILHO, ROBERT, D.;O'HARA, MARK, J.;PFEFFERKORN, GLENN, A.;EVANS, GARY, LEE;JOHNSGARD, KRISTIAN, E.
分类号 C30B25/12;C23C16/46;C30B25/10;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
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